Figure xp effective mask radius

[MakeeK]

Mä putosin vähä kärryiltä tuossa figure xp:ssä kun siellä on sellainen kuin "effective mask radius". Mitä se nyt oikeen tarkoittaa? Inner ja outer -luvut ny ymmärtää mutta toi effective ei oikeen aukee.

[allar]

Eikös se ole vaan sen reiän keskikohta? Muistaakseni Figure XP:ssä ei määritellä erikseen reikien ulko- ja sisäsäteitä vaan ainoastaan efektiivinen säde, eli etäisyys peilin keskipisteestä reiän keskipisteeseen.

[MakeeK]

Siellä voi määritellä Mask entry typeksi joko Inner/Outer tai Effective. Jos valitsee inner/outer ja laittaa zone 0 inner mask radius 60 ja outer mask radius 118,440, niin effective mask radius on 91,551. Eli ei tuo ole ihan tarkkaan keskikohta. Keskikohtahan olis säteiden summa jaettuna kahdella eli 89,22. Lisäksi Couder mask ohjelmassa R center arvoksi tulee 91,580 (Rcenter method carlin).

Eli figure xp sanoo 91,551 ja couder mask ohjelma 91,850. Laskimella keskikohta on 89,22.

[allar]

Efektiivisen säteen avulla yritetään ottaa huomioon diffraktio-ilmiöitä joita näkyy maskin aukoissa. Eli ne voi ottaa huomioon jos haluaa tihrustella aivan pienimpiä tummuuseroja reikien välillä, tällöin hyvällä tuurilla voi saada pari prosenttia tarkempia mittaustuloksia. Efektiivisen säteen suuruus riippuu siitä kenen teorian mukaan sitä lasketaan. Texereaun tapa on laskea ihan perinteisesti niin että efektiivinen säde on reiän keskikohdassa.

Tuo mainitsemasi efektiivinen säde on laskettu Nils Charlinin teorian mukaisesti.

r_e=sqrt(r²+d²/2)

r=säde reiän keskikohtaan
d=reiän leveyden puolikas

Couder taas määritti efektiivisen säteen näin:

r_e=sqrt(r²+d²)

Mielestäni perinteinen Texereaun tapa on jo aivan riittävä...

http://www.atmsite.org/contrib/Carlin/couder/